聚焦氧离子束对金刚石的直写铣削
材料科学
2015-02-02 v1 仪器与探测器
光学
摘要
聚焦离子束技术的最新进展使得利用轻离子进行高分辨率直写纳米制造成为可能。然而，迄今为止关于轻离子的研究主要集中在铣削那些亚表面离子束损伤不会抑制器件性能的材料上。在此，我们报告了使用聚焦氧离子束对单晶金刚石进行直写铣削。通过拉曼光谱和发光分析评估材料质量，结果显示，氧离子产生的损伤层可以通过局部电子束诱导化学刻蚀等非侵入性后处理方法去除。
引用
@article{arxiv.1501.07633,
title = {Direct-write milling of diamond by a focused oxygen ion beam},
author = {Aiden A. Martin and Steven Randolph and Aurelien Botman and Milos Toth and Igor Aharonovich},
journal= {arXiv preprint arXiv:1501.07633},
year = {2015}
}