利用X射线微衍射直接评估卷曲半导体管中的应变与弹性能量
材料科学
2009-11-13 v1
摘要
我们描述了使用X射线衍射作为直接探测卷曲半导体管中应变状态的工具。通过应用连续弹性理论和一个简单模型，我们能够定量模拟完美晶体III-V族半导体双层和多层结构以及含有位错的卷曲层中的应变弛豫。针对每种情况，评估了局部弹性能量的减少。详细讨论了该技术和理论模型的局限性。
引用
@article{arxiv.0809.1253,
title = {Direct strain and elastic energy evaluation in rolled-up semiconductor tubes by x-ray micro-diffraction},
author = {A. Malachias and Ch. Deneke and B. Krause and C. Mocuta and S. Kiravittaya and T. H. Metzger and O. G. Schmidt},
journal= {arXiv preprint arXiv:0809.1253},
year = {2009}
}
备注
32 pages (single column), 9 figures, 39 references