使用 He-Ne 激光反射成像技术检测激光诱导损伤
光学
2025-09-25 v4
摘要
激光诱导损伤是光学元件面临的严峻挑战；因此，确定激光诱导损伤阈值（LIDT）是制造过程中的关键步骤。在许多情况下，例如空间应用，还需要考虑真空环境。由于传统的损伤检测方法在真空条件下面临局限性，需要一种替代方法。本文介绍了一种专为 LIDT 测试站内原位损伤检测设计的 He-Ne 激光成像系统。该系统能够对测试样品及其周围环境进行四倍放大成像，而无需将成像光学器件放置在真空腔内，从而保持腔体的清洁度。该检测方法可应用于透明和不透明样品；在透明光学器件中，可以从任一侧观察到损伤。为了验证系统的功能，研究了两种样品类型：硅晶片（对 He-Ne 辐射不透明）和常用的 1030 nm 介质镜（对 He-Ne 辐射透明）。特别关注了确定能够可靠识别的最小损伤尺寸。该系统成功区分了小至 35 m 的损伤特征。
引用
@article{arxiv.2509.10217,
title = {Detection of the laser induced damage using a He Ne laser reflective imaging technique},
author = {František Novák and Liliia Uvarova and Šárka Němcová and Mihai-George Mureşan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2509.10217},
year = {2025}
}
备注
14 pages, 10 figures