面向纳米机电硅光子学的静电梳状驱动执行器的设计、制备与表征

纳米机电系统为光子学提供了独特功能：以亚波长尺寸弹性且可逆地形变介电梁的能力，使得能够以远低于热光调谐等竞争技术的功耗对光的传播进行电学控制。我们提出一项针对集成纳米机电硅光子电路的紧凑型静电梳状驱动执行器的设计、制备与表征研究。我们的设计占地面积为 $1.2 \times 10^{3} \mu$m$^{2}$，并在 5 V 下实现超过 50 nm 的位移、机械共振频率高于 200 kHz；或者，采用不同弹簧常数与骨架化，在 28 V 下实现超过 50 nm 的位移、机械共振频率高于 2.5 MHz。这足以在纳米机电可重构光子电路中诱导非常大的相移及其他光学效应。