用于拉伸纳米结构悬浮石墨烯的梳状驱动执行器制备

我们报道了一种用于悬浮石墨烯应变依赖输运测量的优化梳状驱动（comb-drive）执行器设计的制备与表征。我们使用深反应离子刻蚀与铬掩模由高 p 型掺杂硅制备器件。关键的是，我们采用金层将器件电阻在室温下从 $\approx51.6$ k$\mathrm{\Omega}$ 降低至 $\approx236$ $\mathrm{\Omega}$，以实现应变依赖输运测量。石墨烯通过聚甲基丙烯酸甲酯（polymethylmethacrylate）膜机械转移至执行器上实现集成。重要的是，集成后的石墨烯可随后进行纳米结构化以优化器件功能。结构化悬浮石墨烯的最小特征尺寸为 30 nm，这允许诸如机械可调纳米收缩（nanoconstriction）等有趣的器件构想。最后，我们通过测量不同应变值下集成石墨烯片的拉曼光谱以及机械共振频率来表征所制备的器件。