驱动微机电谐振器之间可调的机械耦合
介观与纳米尺度物理
2016-10-12 v1
摘要
我们提出了一种微机电系统，其中硅梁连接至梳状驱动执行器，该执行器用于调节硅梁的张力，进而调节其共振频率。通过测量系统的共振频率，我们表明梳状驱动执行器与硅梁表现为两个强耦合的谐振器。有趣的是，有效耦合率（约 1.5 MHz）可通过梳状驱动执行器（+10%）以及放置于硅梁附近的侧栅极（-10%）进行调节。相比之下，系统的有效弹簧常数对二者均不敏感，仅变化 0.5%。最后，我们表明梳状驱动执行器可用于以至少 10 kHz 的频率在不同耦合率之间进行切换。
引用
@article{arxiv.1607.04406,
title = {Tunable mechanical coupling between driven microelectromechanical resonators},
author = {G. J. Verbiest and D. Xu and M. Goldsche and T. Khodkov and S. Barzanjeh and N. von den Driesch and D. Buca and C. Stampfer},
journal= {arXiv preprint arXiv:1607.04406},
year = {2016}
}
备注
5 pages, 4 figures, 1 table