粒子束计量学的连续时间建模与分析
数据分析、统计与概率
2023-08-15 v1 仪器与探测器
应用统计
摘要
粒子束显微镜（PBM）通过对代表二次电子（SE）在驻留时间内积分响应的噪声测量标量值逐像素捕获，实现纳米级成像。扩展到计量学，目标包括估计每像素的 SE 产额以及检测像素间 SE 产额的差异；障碍包括粒子源中的散粒噪声，以及对单个 SE 仪器响应的未知性和变异性。最近引入的时间分辨测量范式有望缓解源散粒噪声，但其分析与开发主要局限于理想化下的估计问题，其中 SE 爆发被直接且完美计数。此处，分析扩展到特征检测问题中的误差指数，以及代表实际仪器行为的降级测量（针对估计问题）。对于基于理想化 SE 计数的估计，提供了对现有估计量的见解及一种更优估计量。对于实际 PBM 成像场景中的估计，引入了理想化模型的扩展，讨论了模型参数提取方法，并展示了时间分辨数据的巨大改进。
引用
@article{arxiv.2303.04100,
title = {Continuous-Time Modeling and Analysis of Particle Beam Metrology},
author = {Akshay Agarwal and Minxu Peng and Vivek K. Goyal},
journal= {arXiv preprint arXiv:2303.04100},
year = {2023}
}
备注
14 pages, 10 figures