应用于 SEM 记录中纳米机械屈曲运动跟踪的图像处理方法
图像与视频处理
2023-07-19 v1
摘要
动态纳米机电系统（NEMS）的扫描电子显微镜（SEM）记录难以分析，原因在于低帧率引起的噪声、分辨率不足以及所加电势引起的模糊。在此，我们开发了一种由底层系统物理增强的图像处理算法，以在高噪声水平下跟踪屈曲 NEMS 结构的运动。该算法由图像滤波器、两个数据滤波器和一个利用物理解预期形式的非线性回归模型组成。该方法应用于约 150 nm 宽、以约 0.5 Hz 的跃迁速率经历井内和井间后屈曲状态的 NEMS 梁的记录。该算法能跟踪 NEMS 的动态运动，并捕获偏转振幅对梁上压缩力的依赖关系。借助所提算法，SEM 成像的屈曲 NEMS 从井间到井内运动的跃迁被清晰分辨。
引用
@article{arxiv.2307.08786,
title = {Image Processing Methods Applied to Motion Tracking of Nanomechanical Buckling on SEM Recordings},
author = {Ege Erdem and Berke Demiralp and Hadi S Pisheh and Peyman Firoozy and Ahmet Hakan Karakurt and M. Selim Hanay},
journal= {arXiv preprint arXiv:2307.08786},
year = {2023}
}
备注
7 pages, 7 figures. 1 Supplementary Video