CMOS兼容、晶圆级加工制备的超导量子比特，能量 relax 时间超过200 us
量子物理
2025-05-21 v3
摘要
我们展示了采用CMOS established加工方法在200 mm晶圆上制备超导量子比特的结果。通过在室温进行自动晶圆探针电阻测量，我们证明了超过10000个阀极结的Josephson结制造良率达99.7%（短路和开路），以及量子比特频率预测准确率为1.6%。在低温表征中，我们提供了关于量子比特能量relax时间的统计结果，单个器件在长期测量中持续接近100 us，其中一些器件稳定达到200 us。这代表了迄今为止使用行业级、晶圆级减法工艺制造的超导量子比特的最佳性能。
引用
@article{arxiv.2505.08424,
title = {CMOS-Compatible, Wafer-Scale Processed Superconducting Qubits Exceeding Energy Relaxation Times of 200us},
author = {T. Mayer and J. Weber and E. Music and C. Moran Guizan and S. J. K. Lang and L. Schwarzenbach and C. Dhieb and B. Kiliclar and A. Maiwald and Z. Luo and W. Lerch and D. Zahn and I. Eisele and R. N. Pereira and C. Kutter},
journal= {arXiv preprint arXiv:2505.08424},
year = {2025}
}
备注
T. Mayer and J. Weber contributed equally to this work and are listed in alphabetical order. 6 pages, 2 figures