重新审视用于探索等离子体-表面相互作用的电荷优化多体AlN相互作用势
等离子体物理
2022-08-25 v1 材料科学
计算物理
摘要
AlN薄膜溅射沉积过程中的等离子体-表面相互作用可通过反应分子动力学（RMD）方法研究。这需要一个恰当描述所有物种以及壁面相互作用（例如粒子发射、损伤形成）的相互作用势。然而，以往工作聚焦于AlN块体势的建立。尽管对于第三代电荷优化多体（COMB3）势至少考虑了单一参考表面，但表面相互作用的可靠性仍然有限。对修订版COMB3 AlN势的需求通过两步满足：首先，对Ziegler-Biersack-Littmark势进行锥化，并实现可变电荷模型QTE，分别用于考虑高能碰撞和远距离电荷输运。其次，通过应用GARFfield软件中实现的自适应演化策略，重新修正底层参数化。考虑了四种纤锌矿、三种闪锌矿和三种岩盐表面。一项关于离子轰击诱导粒子发射和点缺陷形成的示例研究揭示，修订版COMB3 AlN势适用于通过RMD模拟精确研究等离子体-表面相互作用。
引用
@article{arxiv.2208.11605,
title = {Charge-optimized many-body interaction potential for AlN revisited to explore plasma-surface interactions},
author = {Tobias Gergs and Thomas Mussenbrock and Jan Trieschmann},
journal= {arXiv preprint arXiv:2208.11605},
year = {2022}
}