使用基于石英音叉的参考电压-位移换能器标定压电定位致动器
仪器与探测器
2012-03-27 v1 介观与纳米尺度物理
摘要
我们使用压电石英音叉来标定广泛应用于扫描探针显微镜的陶瓷压电扫描器的位移。我们测量了石英音叉的静态压电响应，发现其具有高度线性、无迟滞且蠕变可忽略的特点。这些接近理想换能器的性能特征使石英换能器优于陶瓷压电致动器。此外，音叉形式的石英致动器具有可产生与局部探针显微镜扫描器相当静态位移的优势。我们以石英音叉的静态位移为参考，标定了陶瓷压电扫描器的三轴位移。尽管这种标定技术是一种不可溯源的方法，但它比使用标定网格更为通用，因为它能够在从几分之一纳米到数百纳米的宽位移范围内表征压电扫描器的线性和非线性响应。此外，还可以详细研究陶瓷扫描器的蠕变及依赖于速度的压电响应。
引用
@article{arxiv.1203.5767,
title = {Calibration of piezoelectric positioning actuators using a reference voltage-to-displacement transducer based on quartz tuning forks},
author = {Andres Castellanos-Gomez and Carlos R. Arroyo and Nicolás Agraït and Gabino Rubio-Bollinger},
journal= {arXiv preprint arXiv:1203.5767},
year = {2012}
}
备注
9 pages, 3 figures