利用扫描隧道显微镜对氢终止Ge(001)的原子尺度图案化
介观与纳米尺度物理
2009-12-07 v1 材料科学
摘要
本文演示了在氢终止Ge(001)上的原子尺度光刻。通过在超高真空中运行的扫描隧道显微镜针尖，从吸附在清洁、原子级平坦的Ge(001)表面的H光刻胶层中选择性脱附氢原子，获得了光刻图案。研究了针尖-样品偏压对光刻过程的影响。通过改变针尖-样品偏压，实现了特征尺寸从200 nm到1.8 nm的光刻图案。这些结果为采用扫描探针光刻方法制造未来锗原子尺度器件提供了可能。
引用
@article{arxiv.0912.0754,
title = {Atomic-scale patterning of hydrogen terminated Ge(001) by scanning tunneling microscopy},
author = {G. Scappucci and G. Capellini and W. C. T. Lee and M. Y. Simmons},
journal= {arXiv preprint arXiv:0912.0754},
year = {2009}
}