恒定 di/dz 滤扫隧道显微镜：硅(100)-2×1:H 表面的原子级成像与氢脱掺杂光刻
系统与控制
2024-12-10 v1 系统与控制
摘要
我们提出了一种新的扫描隧道显微镜（STM）控制模式，利用 di/dz 反馈。通过在控制信号上叠加高频正弦调制，提取随tip扫描而产生的隧道电流振幅，以获得 di/dz 测量值。随后构建反馈控制环路，以保持恒定的 di/dz，提高了对扫描过程中细微表面变化的灵敏度。该方法在常规恒定电流成像方面具有显著优势。我们通过对多个 Si(100)-2x1:H 表面的高分辨率成像和光刻实验，展示了该技术的有效性。我们的发现在多个 STM 系统和成像条件下均得到验证，为 STM 控制、成像和光刻的新范式铺平了道路。
引用
@article{arxiv.2412.05729,
title = {Constant di/dz Scanning Tunneling Microscopy: Atomic Precision Imaging and Hydrogen Depassivation Lithography on a Si(100) - 2 x 1 : H Surface},
author = {Richa Mishra and S. O. Reza Moheimani},
journal= {arXiv preprint arXiv:2412.05729},
year = {2024}
}
备注
14 pages, 18 figures