(010)面β-Ga$_2$O$_3$表面评估与衬底规范
材料科学
2021-05-11 v1 应用物理
摘要
热力学稳定氧化镓β相（β-GaO）体块晶体生长的最新突破，已推动大面积β-GaO衬底的商业化，随后在(010)衬底上的外延生长制备出高质量薄膜。尽管如此，金属有机化学气相沉积（MOCVD）、分子束外延（MBE）以及(010) β-GaO表面的加工已知会沿[001]方向形成亚纳米尺度小面，以及垂直于[001]方向的较大脊状结构。对(010)表面的密度泛函理论计算显示，沿[001]方向存在亚纳米尺度的表面有序特征。此外，本文给出了β-GaO的 general 晶体结构，并提出了对(010)衬底进行标准化以解释和控制较大尺度脊状结构形成的建议。
引用
@article{arxiv.2105.03741,
title = {Assessment of the (010) $\beta$-Ga$_2$O$_3$ Surface and Substrate Specification},
author = {Michael A. Mastro and Charles R. Eddy, and Marko J. Tadjer and Jennifer K. Hite and Jihyun Kim and Stephen J. Pearton},
journal= {arXiv preprint arXiv:2105.03741},
year = {2021}
}
备注
12 pages, 8 figures