半导体开发中基于光刻方法的分析
其他计算机科学
2015-02-25 v2
摘要
19 世纪末，微处理器的出现改变了计算领域的动态。巨大的房间大小的计算机开始被便携式、小型化的台式机所取代。如今，世界由硅主导，硅通过微处理器限制了计算机芯片的发展。目前制造的大多数集成电路都是利用光刻概念开发的。本文详细分析了多种光刻方法，作为先进集成电路开发的手段。本研究主要局限于光刻背景下的实例，综述了文献中现有的各种光刻技术，考察了可行且高效的方法，并突出了每种方法的优缺点。
引用
@article{arxiv.1502.05887,
title = {Analysis of Lithography Based Approaches In development of Semi Conductors},
author = {Jatin Chopra},
journal= {arXiv preprint arXiv:1502.05887},
year = {2015}
}
备注
12 pages, 6 figures in International Journal of Computer Science & Infromation Technology(IJCSIT) Vol6,No6,December 2014