在单一 MOCVD 工艺中制备的全 BN 分布式布拉格反射镜
材料科学
2022-06-07 v1 光学
摘要
分布式布拉格反射镜（DBR）是成熟的光子结构，广泛用于许多光子应用。然而，大多数 DBR 基于不同材料或需要后处理刻蚀，这可能妨碍与最终光子结构中其他组件的集成。本文中，我们展示了利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）制备仅由具有高折射率对比度的未掺杂氮化硼（BN）层组成的 DBR 结构。这是在单一工艺中实现的，无需任何后处理刻蚀。各 BN 层折射率的差异源于各 BN 层不同的孔隙率，这是不同生长温度的直接结果。所制备的 DBR 结构由 15.5 对 BN 层组成，在最大值处表现出 87±1% 的反射率。通过简单调整后续 BN 层的生长周期，可将最大反射率波长从 500 nm 调谐至红外区（IR）。我们还展示了所制备的结构可用于创建光学微腔。所制备的 DBR 是未来应用非常有前景的候选者，例如与 h-BN 中的单光子发射器结合，可构建基于腔的全 BN 单光子源。
引用
@article{arxiv.2206.02168,
title = {All-BN Distributed Bragg Reflectors Fabricated in a Single MOCVD Process},
author = {Arkadiusz Ciesielski and Jakub Iwański and Piotr Wróbel and Rafał Bożek and Sławomir Kret and Jakub Turczyński and Johannes Binder and Krzysztof P. Korona and Roman Stępniewski and Andrzej Wysmołek},
journal= {arXiv preprint arXiv:2206.02168},
year = {2022}
}
备注
23 Pages in total (15 in the main article + 8 in the supplemtary material), 15 figures in total (9 in the main article + 6 in the supplemtary material)