二维光栅的免对齐表征
仪器与探测器
2016-01-15 v1
摘要
利用傅里叶透镜光学系统和差分优化算法，展示了二维光栅的快速表征。结果表明，既可以从单次测量中推导出光栅特有参数（如基矢及其夹角），也可以推导出样品的对齐状态（如样品绕 x、y 和 z 轴的旋转）。更具体地，已测量晶格矢量及其夹角，而对齐参数的修正用于提高测量质量，从而降低测量不确定度。免对齐表征在周期为 700 nm 的二维六角光栅和节距为 3000 nm 的棋盘光栅上均得到演示。该方法也可用于光栅的自动对齐和在线表征。
引用
@article{arxiv.1509.07623,
title = {Alignment free characterization of 2D gratings},
author = {Morten Hannibal Madsen and Pierre Boher and Poul-Erik Hansen and Jan Friis Jørgensen},
journal= {arXiv preprint arXiv:1509.07623},
year = {2016}
}
备注
20 pages, 6 figures