扫描带电粒子显微镜图像建模的进展
仪器与探测器
2015-05-19 v1 计算物理
摘要
人工扫描电子显微镜(SEM)和扫描离子显微镜图像的建模近来变得重要，这是因为需要提供具有先验确定参数的可重复图像。建模的人工图像在评估新的成像和计量技术(如图像锐度计算或漂移校正图像合成(DCIC))中非常有用。最初，NIST开发的人工图像生成器仅用于生成金-碳分辨率样品的SEM图像，以评估图像锐度。此后，该软件的新改进版本用C++编程语言编写，并属于公共领域。当前版本的软件可以生成任意样品、任意漂移函数以及许多其他特征。本文描述了带电粒子显微镜中的扫描过程，该过程同时应用于人工图像生成器和DCIC技术。作为示例，展示了DCIC技术的性能。
引用
@article{arxiv.1006.0171,
title = {Advances in Modeling of Scanning Charged-Particle-Microscopy Images},
author = {Petr Cizmar and Andras E. Vladar and Michael T. Postek},
journal= {arXiv preprint arXiv:1006.0171},
year = {2015}
}
备注
9 pages, 6 figures