基于直方图的自动分割：一种从SEM图像中分割集成电路结构的新方法
图像与视频处理
2020-04-30 v1 密码学与安全
计算机视觉与模式识别
摘要
在逆向工程与硬件保障领域，大部分数据获取通过扫描电子显微镜（SEM）等电子显微技术完成。然而，与光学成像中的对应技术不同，可用于增强并从原始 SEM 图像中提取信息的技术十分有限。本文中，我们提出一种从 SEM 图像中分割出集成电路（IC）结构的算法。与本文讨论的现有算法不同，该算法是无监督、无参数且不需要关于目标图像中噪声模型或先验信息的，这也使其在低质量图像采集场景下同样有效。此外，本文报告并讨论了该算法在 IC 中多种结构与层上的应用结果。
引用
@article{arxiv.2004.13874,
title = {Histogram-based Auto Segmentation: A Novel Approach to Segmenting Integrated Circuit Structures from SEM Images},
author = {Ronald Wilson and Navid Asadizanjani and Domenic Forte and Damon L. Woodard},
journal= {arXiv preprint arXiv:2004.13874},
year = {2020}
}