一种监测外延半导体结构均匀性的简单方法
材料科学
2007-05-23 v1
摘要
提出了一种可视化平面MBE结构非均匀性的简单方法。该方法基于测量光电动势的起伏。该方法可应用于多种半导体结构，且不需要任何昂贵的设备。
引用
@article{arxiv.cond-mat/0608503,
title = {A simple method for monitoring uniformity of epitaxial semiconductor structures},
author = {G. G. Kozlov},
journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0608503},
year = {2007}
}
备注
2 pages, 2 figures