X射线叠层衍射形貌术：一种应变成像新工具
材料科学
2021-05-05 v1
摘要
晶体材料中的应变与缺陷决定了目标材料独特的力学、电学和磁学性能，使其成为材料表征、制备与设计中不可或缺的研究任务。现有的应变场可视化技术，如透射电子显微镜与衍射，具有破坏性且局限于材料的薄片。另一方面，非破坏性X射线成像方法要么分辨率降低，要么不足以稳健地适用于广泛应用。本文提出X射线叠层衍射形貌术这一应变成像新方法，并在微压缩后的InSb微柱上演示其应用，以30 nm空间分辨率可视化了应变区域。由此，X射线叠层衍射形貌术证明了自身是一种稳健的非破坏性方法，可用于块体晶体样品中应变场成像，空间分辨率达数十纳米量级。
引用
@article{arxiv.2012.03299,
title = {X-ray ptychographic topography, a new tool for strain imaging},
author = {Mariana Verezhak and Steven Van Petegem and Angel Rodriguez-Fernandez and Pierre Godard and Klaus Wakonig and Dmitry Karpov and Vincent L. R. Jacques and Andreas Menzel and Ludovic Thilly and Ana Diaz},
journal= {arXiv preprint arXiv:2012.03299},
year = {2021}
}