真空蒸发态油玻璃的大面积制造
应用物理
2024-05-21 v1 光学
量子物理
摘要
我们描述了制造大面积 alkali 金属汽 vapor cell 阵列的工艺，实现低残余气压。我们表明，通过在硅晶圆表面刻蚀长而细的通道，可将 evacuated vapor cell 中的残余气压降至低于 0.5 kPa（4 Torr），且产率超过 50%。这种可大规模生产的低残余气压 alkali vapor cell 可为新一代低成本芯片级原子器件，如 vapor cell 光钟、波长参考和 Rydberg 传感器提供支持。
关键词
引用
@article{arxiv.2405.11088,
title = {Wafer-scale fabrication of evacuated alkali vapor cells},
author = {Yang Li and Donggyu B. Sohn and Matthew Hummon and Susan Schima and John Kitching},
journal= {arXiv preprint arXiv:2405.11088},
year = {2024}
}