利用外部 Cs 源填充的局部密封微加工蒸汽池

微加工碱金属蒸汽池是实现尺寸、重量和功耗降低的微型设备（如原子钟和光泵磁力仪）的关键。然而，为了进一步扩展其应用场景，仍需要更具通用性的制造方法。在此，我们展示了一种利用位于构成蒸汽池的一个玻璃基板内图案化的局部密封微通道，对微加工铯蒸汽池进行集体填充和密封的新方法。现有方法依赖于晶圆级阳极键合作为最后的密封步骤，与之不同的是，基于局部密封的方法为实现目前仅限于传统吹制玻璃池的特性开辟了道路，这些特性包括沉积对温度敏感的抗弛豫涂层、无需额外的吸气材料即可达到更低的背景气压，或填充多种原子或分子物种的能力。