利用比色技术对石墨烯机械器件进行超大规模表征

我们使用一种可扩展的光学技术，表征了超过 21000 个由悬空单层与双层石墨烯制成的圆形纳米机械器件，其空腔具有不同直径（$D$）与深度（$g$）。为最大化悬空与破裂薄膜间的对比度，我们采用模型选取最优滤色片。该方法支持并行且自动化的图像处理以进行良率统计。我们发现存活概率与由 $D^4/g^3$ 给出的结构力学标度参数相关。此外，我们提取出薄膜与空腔底部原生 SiO$_2$ 之间的中位粘附能为 $\Gamma =$ 0.9 J/m$^2$。