高产大规模闭合腔体悬挂石墨烯膜用于传感器应用
应用物理
2024-12-16 v1
摘要
单原子石墨烯的悬挂膜在电子和纳米电机械装置中展现出巨大的应用潜力。本文演示了一种“热干”转移工艺，以解决大面积石墨烯膜在封闭密封腔体上图案化的制造和制备挑战。其中，“热”指在转移过程中使用高温，以促进粘合；“干”指石墨烯与目标基底接触时不使用液体。该方法比以前报道的更高地产出完整的悬挂单层CVD石墨烯和人工堆叠双层CVD石墨烯膜。通过SEM图像中的神经网络基于目标检测进行产量评估，确保了大统计学精度下完整膜的高产量。对悬挂膜进行拉曼断层扫描和AFM检测。将悬挂石墨烯器件作为压电阻性传感器进行验证。该技术推动了悬挂石墨烯膜的应用，并可扩展至其他二维(2D)材料。
引用
@article{arxiv.2408.16408,
title = {High-yield large-scale suspended graphene membranes over closed cavities for sensor applications},
author = {Sebastian Lukas and Ardeshir Esteki and Nico Rademacher and Vikas Jangra and Michael Gross and Zhenxing Wang and Ha Duong Ngo and Manuel Bäuscher and Piotr Mackowiak and Katrin Höppner and Dominique Wehenkel and Richard van Rijn and Max C. Lemme},
journal= {arXiv preprint arXiv:2408.16408},
year = {2024}
}
备注
30 pages of manuscript plus 17 pages of Supporting Information