三维多晶粒 Hf$_x$Zr$_{1-x}$O$_2$ 铁电电容器的变异性分析
应用物理
2021-08-11 v1
摘要
本文提出了一种基于仿真的多晶粒三维超薄铁电（FE）电容器剩余极化 变异性研究。采用泊松沃罗诺伊镶嵌图（PVD）模拟铁电区中晶粒的成核，对应于物理生长机制。在 MATLAB 中实现的 PVD 算法与 TCAD 仿真相耦合，以追踪铁电滞回线。研究发现，与服从 高斯分布的晶粒相比，具有 线性分布的晶粒在铁电滞回线中表现出更大的变异性。此外，分析了铁电晶粒中介电含量的影响。可见介电晶粒会导致铁电滞回线中出现非常大程度的变异性。介电晶粒的增加还会导致滞回线保持力的丧失。
引用
@article{arxiv.2011.12695,
title = {Variability Analysis in a 3-D Multi-Granular Hf$_x$Zr$_{1-x}$O$_2$ Ferroelectric Capacitor},
author = {Nilesh Pandey and Karishma Qureshi and Yogesh Singh Chauhan},
journal= {arXiv preprint arXiv:2011.12695},
year = {2021}
}
备注
4 pages, 7 figures