硅中空位团簇与扩散：动力学晶格蒙特卡洛模拟

通过动力学晶格蒙特卡洛模拟，研究了硅中晶格空位的扩散和团簇化随温度、浓度和相互作用范围的变化。研究发现，较高的温度导致形成更大的团簇，但平均寿命更短，这些团簇通过吸引自由空位而生长，而较低温度下的团簇则通过较小团簇的聚集而生长。长相互作用范围产生增强的扩散率和更少的团簇。更高的空位浓度导致更多的团簇，自由空位更少，但团簇的大小在很大程度上与浓度无关。空位扩散率随时间服从幂律行为，并且该定律的指数在固定温度下随浓度增加而增加，在固定浓度下随温度降低而降低。