在电子显微镜中使用Medipix3探测器进行60keV至200keV范围内的直接电子成像
仪器与探测器
2017-12-06 v1
摘要
诸如Medipix3之类的混合像素传感器技术代表了一种独特的电子成像工具。我们使用一台透射电子显微镜（TEM）研究了其作为直接成像探测器的性能，该显微镜集成了一个Medipix3探测器，该探测器具有300微米厚的硅层，包含256x256像素，像素间距为55微米。我们展示了Medipix3在单像素模式（SPM）下，电子束能量在60至200 keV范围内的测试结果。研究了调制传递函数（MTF）和探测量子效率（DQE）的测量。在给定的束能量下，MTF数据是通过部署已建立的刀口技术获取的。同样，DQE所需的实验数据是通过获取聚焦束和自由空间（平场）的图像堆栈来确定的，以计算噪声功率谱（NPS）。
引用
@article{arxiv.1710.02227,
title = {Using the Medipix3 detector for direct electron imaging in the range 60keV to 200keV in electron microscopy},
author = {J. A. Mir and R. Plackett and I. Shipsey and J. M. F. dos Santos},
journal= {arXiv preprint arXiv:1710.02227},
year = {2017}
}