理解衬底对二维MoS2生长的影响：一种动力学蒙特卡罗方法
材料科学
2024-05-17 v1 计算物理
摘要
控制二维（2D）过渡金属硫族化合物（TMDs）的形貌对其应用起着关键作用。尽管化学气相沉积可以实现2D TMDs的晶圆级生长，但仍缺乏一个用于有效生长优化的全面理论框架。原子尺度建模方法为深入探究生长背后的复杂动力学提供了一种有前景的途径。在本研究中，我们采用动力学蒙特卡罗（kMC）模拟来识别在不同衬底上控制MoS2薄片形貌的关键参数。我们的模拟揭示，高吸附速率能显著提高生长速度，但这需要快速的边缘迁移才能形成紧凑的三角形。衬底刻蚀可以调控吸附原子的吸附-脱附过程，并使其在特定衬底区域内优先生长，从而控制薄片形貌。本研究揭示了控制2D TMD形貌的复杂动力学，为TMD合成工艺的设计与优化决策提供了理论框架。
引用
@article{arxiv.2401.01661,
title = {Understanding Substrate Effects on Two-Dimensional MoS2 Growth: a Kinetic Monte Carlo Approach},
author = {Samuel Aldana and Ion Spiridon and Lulin Wang and Hongzhou Zhang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2401.01661},
year = {2024}
}
备注
23 pages, 5 figures