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利用直接电子束光刻实现 LiNbO3 铁电畴反转的二维结构

材料科学 2009-11-11 v1

摘要

我们报道了在室温下无任何静态偏压的条件下,通过直接电子束光刻在 LiNbO3 中制备畴反转结构。LiNbO3 晶体在电子束曝光后经过化学刻蚀,随后通过原子力显微镜表征了畴反转图样。在我们的实验中,当电子束在负 c 面上写入一维光栅时出现了一个有趣的现象:在正 c 面上观察到了二维点阵,这对于其生产二维和三维光晶体的潜力具有重要意义。此外,通过在负 c 面上写入二维正方形图样,我们还在整个 LiNbO3 晶体中获得了二维铁电畴反转。这种结构可用于制备二维非线性光晶体。AFM 表明,不仅在晶体的负 c 面上,而且在晶体的整个厚度上,都实现了二维畴反转结构。

关键词

引用

@article{arxiv.cond-mat/0507669,
  title  = {Two-dimensional structures of ferroelectric domain inversion in LiNbO3 by direct electron beam lithography},
  author = {J. He and S. H. Tang and Y. Q. Qin and P. Dong and H. Z. Zhang and C. H. Kang and W. X. Sun and Z. X. Shen},
  journal= {arXiv preprint arXiv:cond-mat/0507669},
  year   = {2009}
}

备注

17 pages, 4 figures