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结合硼扩散模拟与实验及模拟扫描透射电子束感应电流的织构硅太阳能电池中硼扩散追踪

应用物理 2021-09-07 v1 材料科学

摘要

[001] 生长的单晶硅片的的光吸收可通过氢氧化钾化学蚀刻增强,从而形成金字塔状表面织构。在太阳能转换背景下这一有利性质之外,表面粗糙度也带来弊端,例如在异质结构中测量掺杂剂扩散行为的困难。在本文中,我们采用实验与模拟的扫描透射电子束感应电流,结合硼扩散模拟,在纳米尺度上绘制织构表面下方低于 0.1 ppm 的等浓度线。为考虑表面复合,在有限元 EBIC 模拟中使用沿电子束传播方向投影系统的有效二维模型。我们发现与实验数据良好吻合,并讨论未来消除空间电荷区内剩余偏差的策略。

关键词

引用

@article{arxiv.2109.00586,
  title  = {Tracing the boron diffusion into a textured silicon solar cell by combining boron diffusion simulation with experimental and simulated scanning transmission electron beam induced current},
  author = {Tobias Meyer and David A. Ehrlich and Peter Pichler and Valeriya Titova and Christoph Flathmann and Jan Schmidt and Michael Seibt},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2109.00586},
  year   = {2021}
}