穿孔外延：远程外延真的远程吗？

远程外延最初被提出用于生长一种薄膜，该薄膜不与衬底接触但与之晶体学对齐，并因以范德瓦尔斯材料作为间隔层而易于剥离。本文表明，所称的远程外延更可能是非远程的“穿孔（thru-hole）”外延。在具有厚且晶体学不匹配的范德瓦尔斯间隔层、甚至中间夹有三维非晶氧化物薄膜的衬底上，我们通过连通性启发的外延横向过度生长演示了经穿孔生长出 GaN 畴，其不仅易于剥离，且与衬底晶体学对齐。我们提出的非远程穿孔外延极为直接且简便，可拓宽已知仅由所称远程外延带来的诸多益处的适用面。