MEMS 力仪的三种鲁棒温度漂移补偿策略
仪器与探测器
2024-06-24 v1
摘要
MEMS 制造的力仪因温度依赖性漂移导致长期稳定性差。我们分析了热力学对信号的贡献，并提出三种机制来缓解其影响。第一种方法使用满足 条件的材料，使得热膨胀与杨氏模量的温度变化相抵消。第二种方法利用热膨胀引入压缩，以补偿弹簧力力的变化。第三种方法则利用膨胀来补偿传感器中质量块的位移，而非力。由于这三种机制仅依赖于传感器本身的温度，因此具有鲁棒性。
引用
@article{arxiv.2406.14691,
title = {Three robust temperature-drift compensation strategies for a MEMS gravimeter},
author = {Victor M. Valenzuela and Daniel Teran and Alejandro Sandoval and Eduardo Gomez and John A. Franco-Villafañe and Jesus J. Alcantar-Peña and Juan Ponce-Hernandez},
journal= {arXiv preprint arXiv:2406.14691},
year = {2024}
}