作为功能材料的 MAX 相薄膜生长
材料科学
2022-01-07 v1
摘要
通式为 Mn+1AXn 或 MAX（n = 1, 2, 或 3，M 为早期过渡金属，A 主要为 13 或 14 族元素，X 为 C 和/或 N）的层状纳米层压三元碳化物、氮化物与碳氮化物，因陶瓷与金属性质共存而带来优异的力学、热学、电学、化学性能及广泛应用，已革新纳米材料世界。尽管已开发多种固态块体合成方法以制备各类 MAX 相，但对于某些应用，MAX 相的生长——尤其是高质量外延薄膜形式——正日益受到关注。在此，我们总结了迄今通过多种沉积技术生长 MAX 相薄膜及其性能评估的进展。我们还提出了薄膜生长方面重要的未来研究方向。总体而言，未来高质量单相外延薄膜生长及化学多样 MAX 相的调控，可能为下一代技术开辟有趣的新途径。
引用
@article{arxiv.2201.02124,
title = {Thin film growth of MAX phases as functional materials},
author = {Abhijit Biswas and Varun Natu and Anand B. Puthirath},
journal= {arXiv preprint arXiv:2201.02124},
year = {2022}
}
备注
Review Article, 27 Pages, 4 Figures