低温下低维 SiN$_{x}$ 条中的热弹性波衰减

在低温（< 200 mK）下，通过低维非晶介电条（宽度 < 2 $\mu$m、厚度 200 nm）的热流由少数低阶弹性模式传输。对于长条（L > 400 $\mu$m），已知电导按 1/L 缩放，其中 L 为长度；但对于短条（1 $\mu$m < L < 400 $\mu$m），其长度依赖性尚不清楚。尽管假定传输必然呈现从扩散到弹道的转变，但据我们所知，该转变的函数形式及发生转变的特征尺度大小尚未被测量过。本文中，我们使用超低噪声超导转变边沿传感器（Transition Edge Sensors, TESs）测量通过一组 SiN$_{x}$ 条的热流，以确定从弹道到扩散转变的特征尺度大小。对于支持 6 至 7 个模式的条，我们测得热弹性波衰减长度为 20 $\mu$m。该测量十分重要，因为它揭示了散射过程，而散射过程又与热涨落噪声的产生密切相关。我们自身的兴趣在于制造图案化声子滤波器，以控制超低噪声器件中的热流和热噪声，但这项工作也将引起其他试图将器件与其环境隔离、以及研究微机械谐振器中损耗机制的人的兴趣。