表面层与薄膜的压电响应力显微镜：有效响应与分辨率函数
材料科学
2009-11-13 v1
摘要
分析了刚性及弹性匹配衬底上压电表面层和薄膜的压电响应力显微镜 (Piezoresponse Force Microscopy) 信号形成机制，推导了有效压电响应、物体传递函数分量及瑞利两点分辨率的厚度依赖性。所获得的精确级数和简单的 Padé 近似可用于计算覆盖在不同衬底上的薄膜的有效压电响应。对于低介电常数衬底上的压电薄膜，有效压电响应具有厚度依赖性（外在尺寸效应），而对于巨介电常数或金属衬底，这种厚度依赖性则受到显著抑制。因此，文中讨论了该分析对铁电数据存储及器件应用的启示。
引用
@article{arxiv.0705.3449,
title = {The Piezoresponse Force Microscopy of surface layers and thin films: effective response and resolution function},
author = {Anna N. Morozovska and Eugene A. Eliseev and Sergei V. Kalinin},
journal= {arXiv preprint arXiv:0705.3449},
year = {2009}
}
评论
54 pages, 10 figures, 2 appendices, to be submitted to J. Appl. Phys