光热驱动机械耦合微振荡器对的同步现象

我们研究了双端夹紧、机械耦合的硅微振荡器对中的同步现象。使用连续波激光束将微梁驱动至极限环振荡，并通过干涉测量法检测振荡。采用不同尺寸的器件引入频率失谐，并使用连接微梁的短硅桥作为振荡器之间的机械耦合。在失谐与耦合参数空间中绘制了 MEMS 系统的同步区域，并与相应集总参数模型的数值分析进行了比较。观察到三种振荡状态，即漂移态、准周期态和同步态。数值模型还区分了同相与反相同步，其中反相同步出现在低耦合强度与低频率失谐下。