中文

对称性在擦除图案化表面特征中的关键作用

软凝聚态物质 2015-09-02 v1 流体动力学

摘要

我们报道了如何通过操控初始形状的对称性来控制制备在薄膜上的图案的弛豫。针对表面轮廓毛细管驱动弛豫的润滑理论的有效性,通过在采用聚焦激光尖峰退火图案化的薄膜上进行的原子力显微镜测量得到验证。特别地,我们观察到在后期表面轮廓的形状完全由扰动的初始对称性决定,与理论一致。而且,在此状态下扰动幅度随时间以幂律弛豫,其指数也与初始对称性相关。该结果对于纳米光刻和高密度存储中地形扰动的动态控制具有意义。

关键词

引用

@article{arxiv.1503.08728,
  title  = {Symmetry Plays a Key Role in the Erasing of Patterned Surface Features},
  author = {Michael Benzaquen and Mark Ilton and Michael V. Massa and Thomas Salez and Paul Fowler and Elie Raphaël and Kari Dalnoki-Veress},
  journal= {arXiv preprint arXiv:1503.08728},
  year   = {2015}
}