超四方 Sr4Al2O7：用于高完整性自支撑氧化物薄膜的通用牺牲层
材料科学
2023-10-09 v2
摘要
将外延氧化物异质结构从衬底约束中释放，会导致多种关联电子相的出现，并为与先进半导体技术的集成铺平道路。目前，确定一种与水溶性牺牲层兼容、且适用于氧化物异质结构高质量外延生长的牺牲层，是发展大规模自支撑氧化物薄膜的关键。本研究中，我们揭示了超四方 Sr4Al2O7（SAOT）作为一种颇具前景的水溶性牺牲层。SAOT 独特的低对称晶体结构使其具备优异的维持外延应变的能力，从而允许晶格常数广泛可调。钙钛矿 ABO3/SAOT 异质结构中由此产生的结构连贯性与无缺陷界面，有效抑制了水辅助释放自支撑氧化物薄膜过程中的裂纹形成。对于多种非铁电氧化物薄膜，无裂纹区域在长度尺度上可延展达数毫米。这些引人注目的特征，加之其固有的高水溶性，使 SAOT 成为一种用于制备高质量自支撑氧化物薄膜的通用且可行的牺牲层，从而提升其在创新氧化物电子学与柔性器件设计中的潜力。
引用
@article{arxiv.2307.14966,
title = {Super-tetragonal Sr4Al2O7: a versatile sacrificial layer for high-integrity freestanding oxide membranes},
author = {Jinfeng Zhang and Ting Lin and Ao Wang and Xiaochao Wang and Qingyu He and Huan Ye and Jingdi Lu and Qing Wang and Zhengguo Liang and Feng Jin and Shengru Chen and Minghui Fan and Er-Jia Guo and Qinghua Zhang and Lin Gu and Zhenlin Luo and Liang Si and Wenbin Wu and Lingfei Wang},
journal= {arXiv preprint arXiv:2307.14966},
year = {2023}
}
备注
5 figures and SI, it is the second version of this manuscript