基于纳米孔阵列掩模的亚10纳米精度固态缺陷工程
量子物理
2022-03-04 v1
摘要
构建强相互作用的均匀量子比特簇将是实现可扩展量子传感系统和基于节点的量子比特寄存器的重要一步。对于以缺陷作为量子比特的固态系统，已开发出多种精确定位缺陷的方法，但在室温下大规模制备强耦合区内的量子比特仍具挑战。本工作中，我们结合高深宽比（10）的纳米孔阵列（NAAs）与用作离子阻挡掩模的二次电子束孔图案，以亚10纳米精度在金刚石中生成氮空位（NV）色心。我们对小簇NV自旋进行光学与自旋测量，并统计研究NAAs在离子注入过程中的影响。我们讨论了该技术在构建可扩展系统方面的有效性。
引用
@article{arxiv.2112.00943,
title = {Sub-10 nm precision engineering of solid-state defects via nanoscale aperture array mask},
author = {Tae-yeon Hwang and Junghyun Lee and Seong-Woo Jeon and Yong-Su Kim and Young-Wook Cho and Hyang-Tag Lim and Sung Moon and Sang-Wook Han and Yong-Ho Choa and Hojoong Jung},
journal= {arXiv preprint arXiv:2112.00943},
year = {2022}
}
备注
18 pages, 5 figures