电子束激活聚合物微执行器中的应力-应变
介观与纳米尺度物理
2020-10-28 v1 应用物理
摘要
通过电子辐照实现聚合物薄膜的驱动是实现基于应变工程二维(2D)材料器件的一条有前景的途径。复杂的应变分布要求深入理解聚合物层在电子辐照下的力学行为；在本文中，我们报道了关于聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)薄膜材料电子诱导应力的详细研究。在使用基于介电悬臂的方法对应力值进行评估后，我们直接研究了外延石墨烯上 PMMA 图形的横向收缩，其揭示了一种与电子加速能量无关的普适行为。通过已知应力-应变曲线，我们最终估算了石墨烯上 PMMA 的有效杨氏模量，这是基于 PMMA 的电子束光刻与应变工程应用中的一个相关参数。
引用
@article{arxiv.2007.02300,
title = {Stress-strain in electron-beam activated polymeric micro-actuators},
author = {Davide Giambastiani and Fabio Dispinzeri and Francesco Colangelo and Stiven Forti and Camilla Coletti and Alessandro Tredicucci and Alessandro Pitanti and Stefano Roddaro},
journal= {arXiv preprint arXiv:2007.02300},
year = {2020}
}