通过X射线衍射确定硫系超晶格化学计量比及其局限
材料科学
2019-02-28 v2
摘要
在本文中,我们探索了通过X射线衍射确定硫系超晶格(下一代相变存储器的有力候选材料)化学计量比的潜力。为此,采用溅射沉积制备了一组具有不同层厚的外延 GeTe/Sb2Te3 超晶格样品。利用运动学散射理论将平均成分与衍射特征联系起来。所观察到的超晶格参考晶胞的晶格常数遵循维加德定律,从而实现了直接且非破坏性的化学计量比确定。
引用
@article{arxiv.1807.02829,
title = {Stoichiometry determination of chalcogenide superlattices by means of X-ray diffraction and its limits},
author = {Henning Hollermann and Felix Rolf Lutz Lange and Stefan Jakobs and Peter Kerres and Matthias Wuttig},
journal= {arXiv preprint arXiv:1807.02829},
year = {2019}
}
备注
physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters (2019)