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毫开尔文温度下的软夹紧氮化硅弦谐振器

介观与纳米尺度物理 2022-09-16 v2 应用物理

摘要

我们证明了大长宽比的软夹紧氮化硅弦可在 \si{\milli\kelvin} 温度下工作。两个被测器件的质量因子(QQ)对低温恒温器温度表现出一致的依赖性,其中软夹紧机械模式在 46 mK46~\mathrm{mK} 下达到 Q>109Q > 10^9。在低光读功率下,发现 QQ 趋于饱和,表明样品与其所安装的基座之间热化良好。我们的最佳器件展现出 9.6 zN/Hz9.6~\mathrm{zN}/\sqrt{\mathrm{Hz}} 的力灵敏度和 0.38 s0.38~\mathrm{s} 的热退相干时间,这为纳米机械力传感等未来应用带来了良好前景。

关键词

引用

@article{arxiv.2112.03730,
  title  = {Soft-clamped silicon nitride string resonators at millikelvin temperatures},
  author = {Thomas Gisler and Mohamed Helal and Deividas Sabonis and Urs Grob and Martin Héritier and Christian L. Degen and Amir H. Ghadimi and Alexander Eichler},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2112.03730},
  year   = {2022}
}