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用于溅射的 BFO 靶材的烧结

材料科学 2021-06-28 v1

摘要

通过 880OC880^OC 快速烧结制备了陶瓷 BiFeO3BiFeO_{3} 样品。考察了两种组分:一种为 56/44 Bi2O3/Fe2O3 mole%56/44\ Bi_{2}O_{3}/Fe_{2}O_{3}\ mole\% 组分,另一种为 56Bi2O344Fe2O3+6.5wt%NaCl56Bi_{2}O_{3}\cdot44Fe_{2}O_{3}+6.5wt\%\,NaCl 组分。样品在不同时间下热处理至多 88 分钟,并利用 XRD 测量与分析考察了相含量随时间的函数关系。结果表明,两种组分均在 3.53.5 分钟后获得最大 BiFeO3BiFeO_{3} 相含量:前者约有 50%50\% 的材料转变为 BiFeO3BiFeO_{3},而后者为 98.5%98.5\%

关键词

引用

@article{arxiv.2102.00763,
  title  = {Sintering BFO targets for sputtering},
  author = {Gilad Orr and Andrey Goryachev and Gady Golan},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2102.00763},
  year   = {2021}
}