利用艾里光束单次穿孔在硼硅酸盐玻璃中成形凸边

我们展示了利用具有艾里光束轮廓的 1030 nm 皮秒激光单次脉冲在硼硅酸盐玻璃内产生长达 2 mm 的弯曲改性。光束旁瓣中的等离子体点火以及表面损伤被证明是弯曲轨迹上受限体能量沉积的关键限制因素。实验与数值相结合的分析揭示了受限体能量沉积的最佳激光参数。以此方式，我们实现了对 525 $\mu$m 厚玻璃片的单次通过切割，具有定义良好的凸边，其弯曲半径小至 774 $\mu$m。