紧聚焦飞秒涡旋激光束的材料加工
光学
2015-05-19 v1
摘要
本文首次展示了使用紧聚焦飞秒激光涡旋光束进行材料改性。利用文献[1]中描述的偏振奇点光束转换器合成了双电荷飞秒涡旋，然后使用中等和高数值孔径光学器件（即NA = 0.45和0.9）聚焦，以烧蚀熔融石英和钠钙玻璃。通过控制脉冲能量，我们一致地加工出高质量微米级环形结构，其均匀沟槽厚度小于100 nm。
引用
@article{arxiv.1006.0292,
title = {Materials processing with tightly focused femtosecond vortex laser beams},
author = {Cyril Hnatovsky and Vladlen G. Shvedov and Wieslaw Krolikowski and Andrei V. Rode},
journal= {arXiv preprint arXiv:1006.0292},
year = {2015}
}
备注
8 pages, 3 figures, 10 references; submitted to Appl. Phys. Lett. on May 31, 2010