浅层 Au 掺入硅盆式绝缘槽环谐振器波导器件
光学
2025-09-18 v1
摘要
研究了随后经 500°C 至 700°C 热退火后掺入金属 (Au) 离子的一系列微环谐振器 (MRR) 的光学传输光谱。我们发现，该过程导致 Au 纳米粒子 (NPs) 在 MRR 表面易于形成，但在 500°C 至 600°C 热退火期间，腔光学性能（Q 因子和消光比, ER）受到严重恶化，但在 650°C 热退火后恢复。对于等效 (对照) MRR，仅进行热退火也会导致腔性能下降。
引用
@article{arxiv.2509.13876,
title = {Shallow Au Implantation Into Silicon-On-Insulator Slot Ring Resonator Waveguide Devices},
author = {Quan-Shan Liu and Maddison Coke and Alexander Lincoln and William Wren and Tim Echtermeyer and Iain Crowe and Richard J Curry},
journal= {arXiv preprint arXiv:2509.13876},
year = {2025}
}