伦纳德-琼斯晶体的自溅射

本文给出由伦纳德-琼斯（LJ）势相互作用粒子构成的（100）面心立方（fcc）晶体表面的自溅射产额，作为正入射下归一化入射粒子动能的函数。由于自溅射产额仅依赖于归一化入射能量，此处给出的产额曲线为普适曲线，与伦纳德-琼斯参数无关，因此可作为 LJ 体系的基本参考数据。该自溅射产额数据还与某些金属的实验自溅射产额进行了比较，在主要以沉积为主的较低离子入射能量下显示出合理一致。在较高离子能量下，此类 LJ 材料的自溅射不能代表真实固体，这是因为 LJ 势在短距离下的排斥相互作用不能代表实际原子。本文还给出了某些选定归一化能量下自溅射产额的角度依赖性。