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GHz频率超声 subsurface 原子力显微镜中用于探测深埋特征的散射对比

应用物理 2020-07-06 v1 仪器与探测器

摘要

尽管原子力显微镜主要用于研究表面性质,但几乎自其发明以来人们就试图将其高分辨率能力应用于成像样品内部埋藏的结构。最早的技术之一基于使用超声激发来可视化由与周围环境具有不同粘弹性的埋藏结构所引起的有效针尖-样品刚度的局部差异。虽然超声的使用常常引发关于声波衍射或散射在可视化埋藏结构中的贡献的讨论,但尚无关于该主题的结论性论文发表。在此我们展示并讨论如何明确识别此类声学效应,并可将其与原子力显微镜结合使用以可视化深埋结构。

关键词

引用

@article{arxiv.2007.01662,
  title  = {Scattering contrast in GHz frequency ultrasound subsurface atomic force microscopy for detection of deeply buried features},
  author = {Maarten H. van Es and Benoit A. J. Quesson and Abbas Mohtashami and Daniele Piras and Kodai Hatakeyama and Laurent Fillinger and Paul L. M. J. van Neer},
  journal= {arXiv preprint arXiv:2007.01662},
  year   = {2020}
}

备注

18 pages, 5 figures