利用计量型原子力显微镜对机电响应的定量测量
介观与纳米尺度物理
2015-05-22 v1
摘要
原子力显微镜(AFM)实验中的一个持续挑战是对悬臂运动的定量测量。绝大多数AFM使用光学光束偏转(OBD)方法来推断悬臂的偏转。OBD方法易于实现，具有出色的噪声性能且往往机械鲁棒。然而，它代表了对悬臂位移的间接测量，因为它本质上是角度而非位移测量。在此，我们展示了一台计量型AFM，其将OBD传感器与激光多普勒振动计(LDV)结合，以实现对悬臂速度和位移的精确测量。OBD/LDV AFM允许执行大量定量测量，包括压电力显微镜(PFM)中悬臂振荡模式的原位测量。作为一个应用示例，我们展示了该仪器如何用于压电灵敏度的准确量化，这是机电领域一个长期目标。
引用
@article{arxiv.1505.05562,
title = {Quantitative Measurements of Electromechanical Response with a Metrological Atomic Force Microscope},
author = {Aleks Labuda and Roger Proksch},
journal= {arXiv preprint arXiv:1505.05562},
year = {2015}
}
备注
5 pages, 4 figures